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微流控芯片定制加工:能够提供基于PET、PS、PC、PDMS等材料的微流控芯片的加工制作、也能够提供基于纳米级微电极阵列或纳米级金属微柱阵列的超表面生物电/磁场调制芯片; 基于PI的柔性MEMS器件:一种生物兼容的柔性PI材料,采用MEMS加工手段,实现柔性传感器的制作。可用于植入式生物电刺激/记录电极、也可以用于太赫兹调制基础衬底材料,满足太赫兹波段的波束整形或聚焦等功能; 硅基MEMS传感器代工:满足常规的基于MEMS工艺的硅基体硅传感器的流片加工。 光学超表面/超透镜:可以利用EBL电子束光刻技术,实现在PI、石英、氮化硅、非晶硅、氟化钙、金属、晶体硅晶圆等衬底上纳米超表面结构。 其它特殊的器件:例如声学、振动方面的微纳米加工定制服务。
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